Heliumionisiertes Gaschromatometer für die Silikananalyse

Das GC-9560-HG Silan-Analyse-Helium-Ionisiertes Gaschromatometer eignet sich für die Erkennung von Spuren von Verunreinigungen in hochreinen Gasen und Gasen der Elektronikindustrie mit einer kleinen Z-Detektionskonzentration von bis zu 5 ppb. Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huaei* verwendet, und alle Probenventile verfügen über einen Blassschutzluftweg; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und verfügt über ein automatisches Eingangsdruckkorrektursystem, das die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen gewährleistet*. Die Produkte erhielten die Auszeichnung Shanghai High-Tech-Errungenschaften Umsetzung A-Klasse-Projekt, Shanghai Schlüsselneue Produkte, Shanghai Fackelprogramm und 2009 wissenschaftliche Instrumente ausgezeichnete Produkte.

Silan ist ein wichtiges neues Materialprodukt, weit verbreitet in der LCD-Flachbildschirm, Halbleiter, Solarenergie und anderen Industrien, mit der Entwicklung der chinesischen Halbleiter und anderen Industrien, die inländische Nachfrage nach Silan steigt, aber da die inländische Silan-Produktionstechnologie in der Anfangsphase ist, wie die Reinheit von Silan zu analysieren, ist ein Thema, dem sich die einzelnen Hersteller stellen müssen.
Wie bekannt, ist die Analyse von hochreinen Gasen ein komplexer Prozess und eine der Schwierigkeiten der Chromatografie; Aufgrund der Besonderheiten seiner physikalischen Eigenschaften kann die Schwierigkeit der Analyse von Silan immer schwieriger werden, nicht nur ein hochempfindlicher Detektor, sondern auch das Problem der Sauerstoffverbrennung von Silan lösen.GC-9560-HG Helium-Ionisches GaschromatometerDie Überwindung zahlreicher technischer Schwierigkeiten bei der Silikananalyse durch den Einsatz eines hochempfindlichen Heliumionisierungsdetektors mit einem speziellen Silikanprobensystem hat die Analyse von Spuren von Verunreinigungen auf ppb-Ebene in Silikan gut abgeschlossen.

Anwendbare Kriterien:

• GB/T 15909-2009 - Silikane für die Elektronikindustrie

GC-9560-HG Heliumionisiertes Gaschromatometer für die SilikananalyseGeeignet für die Prüfung von Spuren von Verunreinigungen in hochreinen Gasen und Elektronikgasen, kann die kleine Prüfkonzentration bis zu 5 ppb sein. Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huaei* verwendet. Die Eingangsventile sind mit Eingangsventilen mit Blassschutzluftwegen ausgestattet. Die gesamte Maschine verwendet ein Design mit mehreren Säulen, verschiedene Chromatografie-Säulen können die Temperatur separat kontrollieren, zui optimiert die Trennungsbedingungen maximal und erleichtert die Alterungsbehandlung verschiedener Chromatografie-Säulen, um die Wartung des Instruments zu erleichtern; Das Instrument ist mit einem automatischen Prüfdruckkorrigerungssystem ausgestattet, um Analysefehler zu überwinden, die durch unterschiedliche Grundgase aufgrund des unterschiedlichen Molekulargewichts verursacht werden.

Einer,GC-9560-HG Heliumionisiertes Gaschromatometer für die SilikananalyseLeistungsvorteile:
Die Gasindustrie ist die Grundindustrie der Volkswirtschaft und das "Blut" der industriellen Produktion, und mit der schnellen Entwicklung der Volkswirtschaft wächst auch die Nachfrage nach Gasen für die hochreine Gas- und Elektronikindustrie schnell. Die Erkennung von Spuren-Verunreinigungen ist ein Schlüssel zur Herstellung von hochreinen Gasen und Gasen für die Elektronikindustrie, und die Analyse von Spuren-Verunreinigungen war immer die Schwierigkeit der Chromatographie-Analyse, und herkömmliche Thermaleitungsdetektoren sind nicht in der Lage, eine hochreine Gasanalyse zu erfüllen.
Der Impulsentladungsheliumionisierungsdetektor (PDHID) ist ein universeller Detektor mit hoher Empfindlichkeit und hoher Reaktion auf fast alle anorganischen und organischen Verbindungen, der sich besonders für die Analyse von hochreinen Gasen eignet und bis zu ng/g (ppb) erkennbar ist. Die neu entwickelten nationalen Standards bestimmen, dass die Verwendung von Heliumionisierungsdetektoren zum Ersatz der ursprünglichen Wärmeleitgeräte und anderen Detektoren, Huaei Chromatographie übernimmt die Hauptausarbeitungsaufgabe des nationalen Standards "Gasanalyse Heliumionisierte Gaschromatographie" ist auch in der Entwicklung, wird bald offiziell veröffentlicht und umgesetzt.

PDHID-Messgrenzen für Gasverschmutzungen in Silanen (ppb)

H2	O2Ar	N2	CO	CH4	CO2	C2	C3	SimHn
10	25	50	50	20	20	20	20	50

Zwei,GC-9560-HGSystemkonfiguration:

(1) GC-9560-HG Helium Ionisierung Gaschromatometer (2) Helium Ionisierung Detektor (PDHID)

(3) Zentralschnittsystem (4) Elektronisches Gasabnahmesystem

(5) Sauerstoffadsorptions- und Reduktionssysteme (6) Heliumreiniger

(7) Druckreduzierungsventil für Gasträger (8) Probenahme ohne Totvolumen
(9)Gasfilter (10)Probenfilter

(11) Chromatografie (12) Standardgas
(13) Hochreines Helium (Reinheit > 99,999 %) (14) GC-9560V4.0 Version Gegenkontrollchromatografie

• Zentrale Schneidetechnik zur vollständigen Gasanalyse:
  Das GC-9560-HG Helium-Ionisches Gaschromatometer verwendet eine zentrale Schnitt- und Gegenblastechnik mit mehreren Ventilen und mehreren Säulen. Dieses System besteht aus einer Kombination von mehreren Blasventilen und einer Chromatografie mit mehreren Wurzeln, die den Prozess der Prüfeingabe, Umschaltung, Schnitt und Gegenblasen automatisch steuert.

• 10-Wegwentil
  GC-9560-HGAusgestattet sind alle Original-Import-VICI-Produktion mit Schutzluftwege Blasenventil, Ventilebene ist immer in der Luftatmosphäre, um zu vermeiden, dass die Luft in die Probe eindringt, um die Empfindlichkeit und Genauigkeit der Prüfung erheblich zu verbessern.
• Speziell bearbeitete Chromatografie
  (1) Chromatografie Säulen Rohr mit 316L Edelstahl Material, und die Innenwände des Rohres wurden passiviert, um die Entwicklung von Problemen wie Adsorption und Kohlenmonoxid-Rückzug zu verhindern
  (2) die chromatografischen Säulenträger wurden speziell behandelt, um Sauerstoffadsorption und andere Probleme zu vermeiden
  (3) Vorgeschnittene Säulen verwenden Huai Chromatografie, um die Technologie der Mikrofüllsäulen des Landes zu erhalten, um die Trennung der Proben umfassend zu verbessern, wobei die Trennung, Stabilität und Schnelligkeit in Einklang gebracht werden

• Mehrsäulentrennsystem
  Die Formen der Gasproben sind vielfältig und die Verschmutzungen sind vielfältig, und es sind mehrere verschiedene Chromatografie-Säulen erforderlich, um die Trennung aller Verschmutzungen in der Gasprobe abzuschließen. Da die optimalen Arbeitstemperaturen für verschiedene Chromatografie-Säulen unterschiedlich sind, ist es schwierig, eine optimale Arbeitstemperatur für verschiedene Chromatografie-Säulen gleichzeitig in derselben Säulen zu finden. Der GC-9560-HG ist mit einem Design mit mehreren Säulen ausgestattet und löst effektiv die Herausforderungen, bei denen verschiedene Chromatografie-Säulen unterschiedliche Betriebstemperaturen erfordern.
  Bei der täglichen Wartung des Instruments variiert die Aktivierungstemperatur der Chromatografie-Säulen verschiedener Träger wie 5A-Molekülsiebe, wenn die Alterung im gleichen Säulenkasten erforderlich ist, um die hochtemperaturintolerante Chromatografie-Säulen abzunehmen und dann separat zu aktivieren. Das Design des GC-9560-HG mit mehreren Säulen löst die oben genannten Probleme effektiv, wobei verschiedene Chromatografie-Säulen in verschiedenen Säulen aktiviert werden können, um das Problem der Demontage der Chromatografie-Säulen bei der täglichen Gerätewartung zu vermeiden.
• HP-2 Heliumreiniger:
  GC-9560-HGMit hochreinem Helium als Trägergas beeinflusst sich die Reinheit des Heliums direkt auf die Detektionsempfindlichkeit des gesamten Instruments gegenüber Verunreinigungen. Die Versuche haben gezeigt, dass die Reinheit des für die hochreine Gasanalyse verwendeten Trägergases mindestens um eine Größenordnung höher ist als die Grundreinheit der Gasprobe.
  Der Heliumreiniger Typ HP-2 ist ein spezieller Gasreiniger, der von VICI hergestellt wird, dessen Reinigungsmatriz eine flüchtige Adsorptionslegierung ist. Die Oberfläche der Adsorptionspartikel hat eine Oxidmembran, die durch Heizung aktiviert werden muss. Der Aktivierungsprozess muss in einer Vakuum- oder Inertgasumgebung durchgeführt werden. So kann das Helium sich frei ausbreiten, die Bildung einer Sauerstoffreinigungsschicht verhindern und die Adsorption von Verunreinigungsgasen durchführen. Die Adsorptivmaterialien von HP weisen eine gute thermische Stabilität auf und umfassen zwei Temperaturregelbereiche.
  Reinigbare Gase: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Großer Betriebsdruck: 1000psi
  Entfernung von Gasen: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Warten Sie!
  Rückstandskonzentration: ≤10ppb
• Prüfdruckkorrektursystem
  Traditionelle Chromatogramme verwenden eine Methode zur Steuerung des Durchflusses am Eingangsventilausgang, um das Eingangsvolumen im Quantitätsrohr zu steuern, und der Test hat gezeigt, dass diese Methode einen großen Analysefehler hat.
  Nehmen wir zum Beispiel die Analyse von hochreinem Wasserstoff: Standardgas sind sechs Verunreinigungen, die in Helium konfiguriert sind, während Probengas sechs Verunreinigungen in Wasserstoff sind; Da das Molekulargewicht von Helium und Wasserstoff unterschiedlich ist, entsteht eine Situation, in der die Probeneinsatzmenge unter dem gleichen Durchfluss nicht * ist.
  GC-9560-HGAusgestattet mit einem Druckkorrektursystem, um das Problem der Probenaufnahme aufgrund von Unterschieden im Grundgas zu überwinden und die Genauigkeit der Daten zu gewährleisten.
• Probenahme ohne Totvolumen
  GC-9560-HG ist mit einem speziellen Probenahmeverntil ohne Totvolumen ausgestattet und verwendet eine Probenahmemethode mit Blassschutz, um das Problem der Luftrückstände effektiv zu vermeiden und den Einfluss des Probenahmeprozesses auf die Analyse auf ein niedriges Niveau zu reduzieren.
• Druckdämpfungsventile für Gasträger
  Durch das Vorhandensein einer großen Anzahl von Totvolumen wirkt sich das übliche Druckdämpfungsventil direkt auf die Reinheit des Trägergases nach dem Ausgang des Druckdämpfungsventils aus, was zu einer hohen Konzentration von Verunreinigungen im Trägergas führt, was die Detektionsgrenzen des gesamten Systems beeinflusst.
  Das GC-9560-HG Helium-Ionisiertes Gaschromatometer ist mit einem vollständigen Edelstahlträger-Druckreduzierungsventil mit zweistufiger Druckregulierungsfunktion ausgestattet, das die Druckstabilität erheblich verbessert, die Stabilität der Grundlinie gewährleistet und gleichzeitig das tote Volumen im Ventilkörper reduziert und die Detektionsempfindlichkeit weiter verbessert.

GC-9560-HGAuswirkungsdiagramm der Analyse: