Präzisionsbeschichtungssystem PECS II 685

Produktfunktionen
Präzisionsgravierende Beschichtungen (PECS) von Gatan ™) II ist ein Desktop-Breitstrahlgerät für Argon-Ionen-Polieren und Beschichtungen. Für dieselbe Probe können Polierung und Beschichtung unter derselben Vakuumumgebung erfolgen.

Haupttechnische Merkmale:
Präzisionsgravierbare Beschichtungen (PECS) ™) II， Verwenden Sie zwei breite Argon-Ionenstrahlen, um die Oberfläche der Probe zu polieren und die Verlustschicht zu entfernen, um eine qualitativ hochwertige Probe zu erhalten, die für die Bildgebung, EDS, EBSD, CL, EBIC oder andere Analysen auf SEM, Optik oder Scan-Elektronensonde verwendet wird. Außerdem werden diese beiden Ionenpistolen auf das Ziel ausgerichtet, um die Probe zur Ablagerung von leitfähigen Metallmembranen zu verarbeiten, um zu verhindern, dass die Probe im Elektroskop einen Ladungseffekt auftritt.
Das Gerät ist so konzipiert, dass die polierte Probe ohne Vakuum zerstört und ohne frische Oberflächen der Probe in die Atmosphäre ausgesetzt werden kann. Die Entlastung der Proben erfolgt mit einem speziell entwickelten Probenaufnahmewerkzeug in der Vakuumaustauschkammer.
Zwei kleine Penning-Ionenpistolen mit einem größeren Spannungsbereich bieten eine schnelle und weiche Polierung. Ein Ionenstrahl von bis zu 100 eV bietet eine weichere Poliereffekt für das Polieren von Proben. Die niedrige Energie-Fokusselektrode sorgt dafür, dass der Durchmesser des Ionenstrahls über fast den gesamten Beschleunigungsspannungsbereich hinweg konsistent bleibt. Jede Ionenpistole kann genau und unabhängig ausgerichtet werden. Während des Gerätebetriebs kann der Winkel der Ionenpistole angepasst werden. Der Luftstrom der Ionenpistole kann manuell oder automatisch auf dem Touchscreen eingestellt werden, um den Arbeitsstrom der Ionenpistole zu optimieren.
Der PECS II-Probenstand wird durch flüssigen Stickstoff gekühlt. Die Probe kann effektiv geschützt werden, um Ionenstrahlhitzeschäden zu vermeiden und mögliche Illusionen zu beseitigen.
Der integrierte 10-Zoll-Farb-Touchscreen-Computer übernimmt die vollständige Kontrolle über alle Betriebsparameter des PECS II-Systems. Diese Schnittstelle kann alle Parameter einstellen und den Polierprozess überwachen. Alle Betriebsparameter können auch als Standard gespeichert werden und die Aufrufstandard ermöglicht eine hochpräzise Wiederholung des Experiments.
Die Turbomolekularpumpe mit zweistufiger Membranpumpe sorgt für eine äußerst saubere Umgebung. Der schnelle Probenaustausch (< 1 min) ist mit den Probenausgabewerkzeugen von Gatan möglich, so dass die Bearbeitungskammer während des Probenaustausches immer im Hochvakuum steht.

Bildbeschreibung: (A) ein Sekundärelektronenbild der PECSII-polierten Probenoberfläche, das hochkristalline Korn zeigt (B) ein Chrysanthemuster der PECSII-polierten Zirconiumlegierung (C) ein EBSD-Euler-Diagramm (D) IPFZ-Flächenpartitionen. Die Fotos wurden von Professor Angus Wilkin-son und Dr. Hamidreza Abdolvand zur Verfügung gestellt. Die Daten wurden auf dem Scannelektroskop Zeiss Merlin Compact mit dem BrukerQuantax EBSD System erfasst.