Vakuumroboter

Wafer Handling-Serie Vakuum-Roboter werden hauptsächlich in der Halbleiterverarbeitung verwendet und sind die wichtigsten Automatisierungsgeräte, die für die Wafer-Übertragung zwischen den verschiedenen Stationen am Vakuumseite verantwortlich sind. Mit dem Netzwerk-Roboter-Controller von Shinmatsu zur Steuerung, der kompakte Struktur, Konfigurationsflexibilität und hohe Steuerungsleistung hat, kann sich an verschiedene Roboterkörper anpassen, um die Kommunikation zwischen dem Roboter-Controller, dem Roboter-Controller und der IC-Ausrüstung zu ermöglichen, um verschiedene Anwendungssysteme zu bilden. Derzeit hat Shinmatsu sechs Modelle von Atmosphärenrobotern wie Einarm, Zweiarm, Skola und Froschtyp entwickelt und kann nach den Anforderungen der Kunden angepasst werden, es gibt bereits Benutzeranwendungen und eine Serie von Produkten gebildet, um die Anforderungen verschiedener Benutzer zu erfüllen.