Mikrosauerstoffmesssystem in ppm-Klasse für die Wärmebehandlung von Halbleitern

MESA Mikrosauerstoffmesssystem in DeutschlandSpeziell für den Wärmebehandlungsprozess in der Halbleiterproduktion.

MESA Mikrosauerstoffmesssystem in DeutschlandEs ist ein präzises System, das durch Pumpen von Gas in eine speziell entwickelte Messkammer und anschließende Mikrosauerstoffmessung durch eine Lambdasonde bei einer stabilen, kontrollierten Temperatur ein analoges Signal ausgibt, das ppm Sauerstoffgehalt entspricht.

Messbereich: 0...5 / 10 / 100 / 10000 ppm

Genauigkeit: ± 1 % FS

Vorteile: Vierpunktkorrektur

Ausgang: 0 (4)…20mA oder 0…10V

Herkunft: Deutschland (ISO 9001:2015 zertifiziert)

Anwendungsbereich: Halbleiter

Hauptkunden: Mattson

MESA Mikrosauerstoffmesssystem in DeutschlandDie Zirconiumsonde (Lambda-Sonde) ist entworfen und kann bei einer konstanten Messung von 600 ° C gehalten werden, nicht von der Temperatur im Ofen beeinflusst, der Arbeitszustand der Lambda-Sonde ist stabil, die Lebensdauer ist länger als andere ähnliche Produkte, die tatsächliche Lebensdauer kann bis zu 10 Jahre dauern;

MESA Mikrosauerstoffmesssystem in DeutschlandJede Lambda-Sonde verfügt über einen einzigartigen Nulldriftkoeffizienten K1 und einen Temperaturkompensationskoeffizienten K2, wodurch die Messsignale der intelligenten Stromausgänge genauer sind.Messbereich und Ausgangstyp sind optional. Die Messergebnisse können auch über Schnittstellen wie RS232/RS485 an den PC angeschlossen werden, um eine zentrale Steuerung zu ermöglichen.